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日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 一、特性
• 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
• 可在大氣壓下實現操作運行。
• 可實現高極限真空。
• 低振動低噪音。
• 維護周期可通過計時表控制。
日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 二、應用
• 分析設備
• 氣體回收系統
• 涂料設備
• TMP 前級泵
• 氦滲漏探測器
• 半導體制造工藝
日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 三、規格參數
| 單位 | 50Hz | 60Hz | |
實際抽速 | L/min | 500 | 600 | |
極限壓力 | Pa | 1.0 | ||
馬達 | 單相 |
| 100/115/200/230V, 600W, 4P, 電容啟動運行 | |
| 三相 |
| 200/208/230/380/400/415/460V, 600W, 4P | |
滿載電流 | 單相 | A | 8.5/4.3/3.9 | 2.7/1.57/1.57/1.63 |
| 三相 |
| 10.0/8.6/4.8/4.0 | 2.8/2.5/2.5/1.47 |
重量 | 單相 | kg | 44.0 | |
| 三相 |
| 38.0 | |
進出氣管道直徑 |
| 進氣管KF-40 出氣管 KF-25 | ||
環境溫度 | °C | 5 – 40 | ||
水蒸氣處理 | g/天 | ≤25 (A.F. 開啟) | ||
尺寸 | 單相 | mm | 290(W) × 443(L) × 397(H) | |
| 三相 |
| 290(W) × 372(L) × 397(H) | |
四、外形圖
五、泵數曲線
六、對應電壓與認證
電壓 | 現行電壓 | CE 認證 | CSA 認證 |
單相, 100V, 200V, 230V | 標準 | ● | ● |
三相, 200, 380V, 400V, 415V (50Hz) | 標準 | ● | ● |
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